主权项 |
1.一种用于光刻机的浸没液体回收减振控制装置,是在浸没光刻系统中投影透镜组(1)和衬底(3)之间设置的浸没液体回收减振控制装置(2);其特征在于所述的浸没液体回收减振控制装置(2):包括上端盖(2A)、内腔体(2B)和下端盖(2C),其中:1)上端盖(2A):开有提供注液腔(4C)、内层气体回收腔(5C)、液体回收腔(6B)、外层气体回收腔(7C)及气体密封腔(10B)的对外连接通道管路;2)内腔体(2B):中心开有通孔的内腔体(2B)由中心向外依次开有环形柱状腔体:包括1~4个中心对称的注液腔(4C),1~4个中心对称的内层气体回收腔(5C)、1~4个中心对称的液体回收腔(6B)、1~4个中心对称的外层气体回收腔(7C)、气体密封腔(10B),各腔体垂直衬底(3);处在内层气体回收腔(5C)和外层气体回收腔(7C)之间的内腔体(2B)下表面,比内腔体(2B)其它部分下表面距离衬底(3)高0.5~5mm;3)下端盖(2C):在中心开有通孔的下端盖(2C)接近衬底(3)的部分,由中心向外依次开有:注液排孔(4A)及内层回收排孔(5A)、隔离槽(9)、外层回收排孔(7A)及气密封排孔(10A);除隔离槽(9)为环形连续腔体外,其余均为环形排孔阵列;在下端盖(2C)远离衬底(3)的部分,垂直于衬底(3)由中心向外依次开有环形柱状腔体,包括在注液排孔(4A)上方开有注液缓冲腔(4B),在内层回收排孔(5A)上方开有内层回收缓冲腔(5B),在外层回收排孔(7A)上方开有外层回收缓冲腔(7B),在气密封排孔(10A)上方开有气体密封缓冲腔(10B);注液缓冲腔(4B)、内层回收缓冲腔(5B)、外层回收缓冲腔(7B)和气体密封缓冲腔(10B)垂直向上分别与内腔体(2B)的注液腔(4C)、内层气体回收腔(5C)、外层气体回收腔(7C)、气体密封腔(10B)相连通。 |