用于外部腔可调激光器的半集成设计

摘要

半集成外部腔二极管激光器(ECDL)(300A)设计包括集成结构(302A)，它包括增益部分(400)、相位控制部分(402)和任选的调制器部分(404)。每个集成结构都包括穿过每一部分的波导(406)。反射镜(408)形成于该结构中以限定激光腔的一端。反射元件(314)一般相对于增益部分(400)的后刻面(410)设置，形成其间的外部腔。可调滤波器(310)设置于该外部腔内以实现激光器的调谐。操作期间，调制的驱动信号(332)被提供到相位控制部分(402)。这调制了激光腔的光程长度，产生了激光器输出中的强度(振幅)调制。检测器被用于产生指示用于根据波长锁定伺服环调谐激光器的强度调制的反馈信号。在通过调制器部分(404)时，用数据(722)调制光信号。

主权项

1.一种装置，包括：集成结构，它具有经由通过其中的波导光连接的前刻面和后刻面，所述集成结构还包括：增益部分，用于响应于第一电输入发出多个光子，该部分具有限定所述集成结构的所述后刻面的刻面；相位控制部分，被设置为靠近所述增益部分，用于响应于第二电输入调制通过所述控制部分的一部分波导的光程长度；调制器部分，被设置为靠近所述相位控制部分，用于响应于第三电输入而调制通过所述波导的一部分的光输出，所述波导穿过所述调制器部分，该调制器部分具有限定所述集成结构的所述前刻面的刻面；以及部分反射的反射镜，它设置于所述相位控制部分和所述调制器部分之间，其反射率为2％-10％。