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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THIN FILM/LAYER FABRICATION AND DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP2043848(A1) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP20070763892 申请日期 2007.07.12
申请人 NANOMETRIX INC. 发明人 SCHNEIDER, JUAN
分类号 B29D7/01;B05D1/20;B05D3/04;B82Y30/00;C08J5/18 主分类号 B29D7/01
代理机构 代理人
主权项
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