发明名称 MICRO MIRROR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100892066(B1) 申请公布日期 2009.04.07
申请号 KR20020065342 申请日期 2002.10.24
申请人 发明人
分类号 G02B5/08;(IPC1-7):G02B5/08 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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