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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100891518(B1) 申请公布日期 2009.04.06
申请号 KR20060137202 申请日期 2006.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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