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发明名称 Non-Contact Film Inspection Equipment by using Porous type Air Floating
摘要
申请公布号 KR100892088(B1) 申请公布日期 2009.04.06
申请号 KR20070015455 申请日期 2007.02.14
申请人 发明人
分类号 G02B5/02;G02B5/20 主分类号 G02B5/02
代理机构 代理人
主权项
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