| 发明名称 |
Optisches Nahfeld- und Atomkraft-Rastermikroskop |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69435190(D1) |
申请公布日期 |
2009.04.02 |
| 申请号 |
DE1994635190 |
申请日期 |
1994.10.28 |
| 申请人 |
SII NANOTECHNOLOGY INC. |
发明人 |
CHIBA, NORIO;MURAMATSU, HIROSHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B11/30;G01N37/00;G01Q60/06;G01Q60/18;G01Q60/32;G02B21/00 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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