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<p>Durch Vorsehen einer Vorausschaufunktionalität für ein anlageninternes Sibstrathantierungssystem von Prozessanlagen auf der Grundlage einer Prozessgeschichte kann der anlageninterne Verarbeitungsablauf für Substrate deutlich verbessert werden. Die Vorausschaufunktionalität ermöglicht eine Vorhersage der Prozesszeit eines Substrats, das aktuell in einem entsprechenden Prozessmodul bearbeitet wird, wodurch das Initiieren einer Transportaktivität für Substratladeoperationen möglich ist, um damit die Gesamtwartezeit der Prozessmodule, die während Substratwechsel auftreten, deutlich zu verringern.</p> |
