| 摘要 |
Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Sensorelement zum Erfassen von Beschleunigungen in drei Raumrichtungen vorgeschlagen, das zuverlässige Messergebnisse liefert und sich zudem in kleiner Bauform und kostengünstig realisieren lässt. Das Sensorelement (10) umfasst mindestens eine in drei Raumrichtungen auslenkbare seismische Masse (11), eine Membranstruktur (12), die als Aufhängung für die seismische Masse (11) fungiert, und mindestens eine feststehende Gegenelektrode (15) zum kapazitiven Erfassen der Auslenkungen der Membranstruktur (12). Erfindungsgemäß umfasst die Membranstruktur (12) mindestens vier elektrisch voneinander getrennte Elektrodenbereiche (14a bis 14d), die über die seismische Masse (11) mechanisch gekoppelt sind. |
