DEVICE AND METHOD FOR LASER PROCESSING

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Laserbearbeitung umfassend einen Laser (10) mit einem Resonator (11), der eingerichtet ist, einen Laserstrahl (100) mit einer vorbestimmten Kaustik zu erzeugen, ein optisches Element (30) zur Transformation des Laserstrahls (100) in einen Strahl (100') mit ringförmiger Intensitätsverteilung entlang eines Bereichs der Kaustik des Laserstrahls (100'), wobei die ringförmige Intensitätsverteilung im Bereich des kleinsten Durchmessers der Kaustik entlang der Propagationsrichtung des Strahls (100') in einer Ebene senkrecht zur Propagationsrichtung des Strahls (100') einen nach der 2.-Momente-Methode bestimmten Strahlradius (SR) und eine bei einer Intensität von 50% der Maximalintensität in radialer Richtung bestimmte Ringbreite (RB) aufweist, wobei der Quotient (Q) aus der Ringbreite (RB) und dem Strahlradius (SR) kleiner als 0,6, bevorzugt kleiner als 0,5 ist.