发明名称 Kurzkoheränz-Interferometer
摘要 Es ist eine Kurzkohärenz-Interferometeranordnung zur Messung mehrerer axial beabstandeter Bereiche (T1, T2) einer Probe (P), insbesondere des Auges (A), beschrieben, welche mindestens einen Meßstrahlengang, durch den mehrere Einzel-Meßstrahlen auf die Probe (P) fallen, und einen Referenzstrahlengang (R) aufweist, durch den ein Referenzstrahl läuft, mit dem die Einzel-Meßstrahlen (M1, M2) überlagert und zur Interferenz gebracht werden, wobei die Einzel-Meßstrahlen (M1, M2) beim Einfall auf die Probe (P) zueinander um ein Maß axial versetzt sind, das auf die axiale Beabstandung (d) abgestimmt ist, und die Interferometeranordnung (I) jeden Einzel-Meßstrahl (M1, M2) jeweils mit dem Referenzstrahl interferierend überlagert und auf einen dem jeweiligen Einzel-Meßstrahl zugeordneten Detektor (D1, D2, ..., DN) leitet, wobei die Einzel-Meßstrahlen (M1, M2, ..., MN) in der Überlagerung mit dem Referenzstrahl in einem Gemisch zusammengefaßt sind, in dem sie unterschiedliche Phasenlagen haben.
申请公布号 DE102007046507(A1) 申请公布日期 2009.04.02
申请号 DE20071046507 申请日期 2007.09.28
申请人 CARL ZEISS MEDITEC AG 发明人 HACKER, MARTIN
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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