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发明名称
Vertikales Halbleiterbauelement vom Grabenstrukturtyp und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号
DE102005009000(B4)
申请公布日期
2009.04.02
申请号
DE200510009000
申请日期
2005.02.28
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AUSTRIA AG
发明人
SIEMIENIEC, RALF;SCHULZE, HANS-JOACHIM
分类号
H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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