Ionenimplantierungs-Vorrichtungen und -Verfahren,申请号DE20016037673-传众专利搜索

发明名称	Ionenimplantierungs-Vorrichtungen und -Verfahren
摘要
申请公布号	DE60137673(D1)	申请公布日期	2009.04.02
申请号	DE20016037673	申请日期	2001.12.05
申请人	ULVAC INC.	发明人	NISHIHASHI, TSUTOMU;FUJIYAMA, JUNKI;SAKURADA, YUZO
分类号	C23C14/48;H01J37/317;H01J37/04;H01J37/09;H01L21/265;H01L21/266	主分类号	C23C14/48
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