发明名称
摘要 A gold layer ( 20 ) is patterned with a gold oxide mask ( 30 ), which mask is patterned with an acid, preferably with microcontactprinting. The gold oxide mask ( 30 ) is stable in alkalic etch solutions for the gold layer ( 20 ). The gold oxide mask ( 30 ) may be maintained to create a reexposable gold pad ( 20 ).
申请公布号 JP2009513830(A) 申请公布日期 2009.04.02
申请号 JP20080537283 申请日期 2006.10.24
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;C23F1/40;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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