发明名称 Sonde und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Messobjekten
摘要 Es wird eine optische Sonde (1) zum optischen Prüfen von Messobjekten vorgeschlagen, wobei diese umfasst: einen Eingang (10) zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde (1), eine GRIN-Linse (8) (Graduate-Index Linse) zur Fokussierung des Eingangsstrahls zu einem Messstrahl und einen Ausgang (20) zur Beleuchtung der zu prüfenden Messobjekte, wobei die GRIN-Linse (8) mindestens eine gegenüber der Richtung (7) des Eingangsstrahls geneigte Oberfläche (9) aufweist zur Ablenkung des Messstrahls. Weiter wird eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Messobjekten beschrieben, wobei in der Vorrichtung ein Interferometer mit der optischen Sonde (1) verbunden ist.
申请公布号 DE102007045570(A1) 申请公布日期 2009.04.02
申请号 DE20071045570 申请日期 2007.09.24
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 RYCHTARIK, DAVID
分类号 G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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