摘要 |
Es wird eine optische Sonde (1) zum optischen Prüfen von Messobjekten vorgeschlagen, wobei diese umfasst: einen Eingang (10) zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde (1), eine GRIN-Linse (8) (Graduate-Index Linse) zur Fokussierung des Eingangsstrahls zu einem Messstrahl und einen Ausgang (20) zur Beleuchtung der zu prüfenden Messobjekte, wobei die GRIN-Linse (8) mindestens eine gegenüber der Richtung (7) des Eingangsstrahls geneigte Oberfläche (9) aufweist zur Ablenkung des Messstrahls. Weiter wird eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Messobjekten beschrieben, wobei in der Vorrichtung ein Interferometer mit der optischen Sonde (1) verbunden ist.
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