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发明名称 FLACHER ENDBLOCK ALS TRÄGER EINES DREHBAREN SPUTTER-TARGETS
摘要
申请公布号 DE602005012850(D1) 申请公布日期 2009.04.02
申请号 DE200560012850T 申请日期 2005.10.11
申请人 BEKAERT ADVANCED COATINGS 发明人 DELLAERT, KRIST;DE BOSSCHER, WILMERT;DE BOEVER, JOANNES;LAPEIRE, GREGORY
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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