Verfahren und optische Anordnung zur Untersuchung einer Probe

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Untersuchung einer Probe (1). Die Probe (1) ist um eine Rotationsachse rotierbar und in alle drei Raumrichtungen verschiebbar gelagert. Sie wird über eine erste Beleuchtungseinrichtung mit einem Lichtblatt parallel zur Rotationsachse beleuchtet. Von der Probe (1) abgestrahltes Licht wird über ein Abbildungsobjektiv (7) mit einer optischen Achse, die die Ebene des Lichtblatts senkrecht schneidet, auf eine Detektierungseinrichtung als Schnittbild abgebildet. Es werden mehrere Schnittbilder der Probe bei verschiedenen Einstellungen des Rotationswinkels aufgenommen, für einen Teil der Schnittbilder wird die Probe (1) zwischen den Aufnahmen gedreht und/oder verschoben. Die aufgenommenen Schnittbilder werden registriert und zu einem ersten Datensatz von räumlichen Bilddaten der Probe (1) fusioniert. Bei einem solchen Verfahren wird die Probe (1) über eine zweite Beleuchtungseinrichtung senkrecht zur Rotationsachse beleuchtet, wobei das Abbildungsobjektiv (7) mindestens einen Teil der Probe (1) als Schattenbild auf die Detektierungseinrichtung projiziert und wobei mehrere Schattenbilder der Probe (1) aufgenommen werden und mindestens für einen Teil der Schattenbilder die Probe (1) zwischen den Aufnahmen gedreht und/oder verschoben wird. Aus den aufgenommenen Schattenbildern wird mittels eines Rückprojektionsalgorithmus ein zweiter Datensatz von räumlichen Bilddaten der Probe (1) konstruiert.