气帘辅助排气方法及其装置

摘要

本发明公开了一种气帘辅助排气方法及其装置，在工作台设置气帘产生器以包围其部分面积，且工作台上方设置有接收型气罩，此接收型气罩外沿的垂直下方可完全涵盖前述的面积，接着激活气帘产生器吹出气帘至接收型气罩开口处，并激活接收型气罩吸引气流。接收型气罩吸引的气流与气帘界定出屏蔽空间，使气帘可将屏蔽空间内部产生的污染源导引至接收型气罩而排出，达成辅助排气的功效，并局限污染源于屏蔽空间内以防止污染源侧向扩散。

主权项

1. 一种气帘辅助排气方法，利用一设置于一工作台上方的接收型气罩吸引气流而排出，且配合多个设置于该工作台外沿且位于该接收型气罩垂直下方的范围内的气帘产生器吹出的多个气帘以提高该接收型气罩的吸引气流而排出的捕集效率，其特征在于，包括以下的步骤：设置各该气帘产生器包围该工作台的一面积，令该面积小于该接收型气罩的一开口面积；激活各该气帘产生器吹出具有一送气速度的该气帘，该送气速度为一送气方向与一送气速率组成，该送气速率依远离该气帘产生器呈递减；吹送各该气帘至该接收型气罩开口处，其中各该气帘的有效作用面积小于该开口面积，且该送气方向的一垂直分量指向该接收型气罩开口处；及激活该接收型气罩吸引具有一排气速率的气流，该排气速率依远离该接收型气罩呈递减，且位于该接收型气罩开口处的该排气速率大于该送气速率，具有该排气速率的气流与各该气帘界定一屏蔽空间。