发明名称 |
以可交联聚合物为主之底层涂覆组合物 |
摘要 |
本发明系关于可交联之底层涂覆组合物,其包含聚合物、能产生强酸之化合物,及视情况之交联剂,其中该聚合物包含至少一个吸光发色团及至少一个选自环氧基、脂族羟基及其混合物之部分。本发明进一步系关于使底层涂覆组合物成像之方法。 |
申请公布号 |
TW200915007 |
申请公布日期 |
2009.04.01 |
申请号 |
TW097129404 |
申请日期 |
2008.08.01 |
申请人 |
AZ电子材料美国股份有限公司 |
发明人 |
庄弘;姚晖蓉;吴鹏;马克 尼瑟;刘卫宏;宣姜惠;向中 |
分类号 |
G03F7/11(2006.01);C09D201/02(2006.01);C09D5/32(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/11(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 |