发明名称 以可交联聚合物为主之底层涂覆组合物
摘要 本发明系关于可交联之底层涂覆组合物,其包含聚合物、能产生强酸之化合物,及视情况之交联剂,其中该聚合物包含至少一个吸光发色团及至少一个选自环氧基、脂族羟基及其混合物之部分。本发明进一步系关于使底层涂覆组合物成像之方法。
申请公布号 TW200915007 申请公布日期 2009.04.01
申请号 TW097129404 申请日期 2008.08.01
申请人 AZ电子材料美国股份有限公司 发明人 庄弘;姚晖蓉;吴鹏;马克 尼瑟;刘卫宏;宣姜惠;向中
分类号 G03F7/11(2006.01);C09D201/02(2006.01);C09D5/32(2006.01) 主分类号 G03F7/11(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国