| 摘要 |
一种被揭示用于保持并移动一平坦物体的装置，该平坦物体例如是在微影技术中所采用之标线片。一个示范性实例的装置包括一个载台及一个物体吸盘。该载台具有一个可移动支承表面。一第一膜片的一近端区域被安装于支承表面。该第一膜片的一远端区域从该支承表面延伸出去且被耦接至该吸盘，以使得第一膜片系至少部分地支撑住该吸盘。该吸盘包括一个表面，多个销系从该表面延伸出。该表面位于该远端区域。该等销被排列，以接触并支撑住该物体的个别区域。该销的排列方式系被建构成，使得在该支承表面所给予之物体吸盘之运动期间，该运动所导致之作用力造成之在每个销上物体相对于销的滑动是大致上相同的。 |
