发明名称 SHAPED ILLUMINATION GEOMETRY AND INTENSITY USING A DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENT
摘要
申请公布号 EP1440296(A4) 申请公布日期 2009.04.01
申请号 EP20020775748 申请日期 2002.09.26
申请人 APPLERA CORPORATION 发明人 HOFF, LOUIS, B.;OLDHAM, MARK, F.
分类号 G01J3/00;G01N21/64;G01J1/20;G01J3/10;G01J3/30;G01N21/01;G01N21/76;G01N21/78;G02B11/00;G02B27/09;G02B27/46 主分类号 G01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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