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发明名称
SHAPED ILLUMINATION GEOMETRY AND INTENSITY USING A DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENT
摘要
申请公布号
EP1440296(A4)
申请公布日期
2009.04.01
申请号
EP20020775748
申请日期
2002.09.26
申请人
APPLERA CORPORATION
发明人
HOFF, LOUIS, B.;OLDHAM, MARK, F.
分类号
G01J3/00;G01N21/64;G01J1/20;G01J3/10;G01J3/30;G01N21/01;G01N21/76;G01N21/78;G02B11/00;G02B27/09;G02B27/46
主分类号
G01J3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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