| 发明名称 |
微机电系统装置及制程 |
| 摘要 |
一种MEMS装置，包含薄膜层以及于该薄膜层上形成之背板层。该薄膜层包含外部、相对于该外部而突起之内部以及用于连接该内部与该外部之侧壁。该侧壁系非垂直于该外部。 |
| 申请公布号 |
TW200914364 |
申请公布日期 |
2009.04.01 |
| 申请号 |
TW097135574 |
申请日期 |
2008.09.17 |
| 申请人 |
欧胜微电子 |
发明人 |
拉敏 理查 伊安;珍金斯 柯林 罗伯特;崔诺 安东尼 波纳 |
| 分类号 |
B81B7/02(2006.01);H01L21/306(2006.01) |
主分类号 |
B81B7/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈志明 |
| 主权项 |
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| 地址 |
英国 |
