改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法

摘要

本发明公开了一种改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法，设定正确的检知时间范围，一旦检知时间超过设定范围，即时间小于设定的下限或大于等于设定的上限，机台报警并停止研磨，进行检测处理。本发明能够实时检测到产品的终点，及时发现前道非正常工艺以及机台终点检测硬件(设备)异常的问题，减少异常产品的产生。本发明不仅可以适用于利用光学原理的终点检测方法，还可以适用于温度变化原理，电流强度变化原理的终点检测方法。

主权项

1、一种改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法，其特征在于包括如下步骤：在研磨程序的软件设定中，设定最小研磨时间；当终点检测时记录主研磨步骤研磨时间；将该主研磨步骤研磨时间和所述的设定最小研磨时间和最大研磨时间进行比较，当它在设定的最小研磨时间和最大研磨时间之内，则正常；当该主研磨步骤研磨时间大于等于最大研磨时间或小于最小研磨时间，则输出信号至报警单元报警，并使机台停止研磨，进行处理。