| 发明名称 | 用于沉积高纵横比分子结构的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于沉积高纵横比分子结构(HARMS)的方法，所述方法包括在含有一个或多个HARM结构的气溶胶上施加力，所述力使基于一种或多种物理特征和/或性质的一个或多个HARM结构朝向一个或多个预定位置移动，用来依靠所施加的力将一个或多个HARM结构沉积在模板中。 | ||
| 申请公布号 | CN101400598A | 申请公布日期 | 2009.04.01 |
| 申请号 | CN200780008330.3 | 申请日期 | 2007.03.07 |
| 申请人 | 卡纳图有限公司 | 发明人 | 埃斯科·卡宾耐;艾伯特·纳斯布林;大卫·布朗;大卫·冈萨雷斯 |
| 分类号 | B82B3/00(2006.01)I;C01B31/02(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王 漪;郑 霞 |
| 主权项 | 1. 一种用于沉积高纵横比分子结构(HARMS)的方法，其特征在于：所述方法包括在含有一个或多个HARM结构的气溶胶上施加力，所述力使基于一种或多种物理特征和/或性质的一个或多个HARM结构朝向一个或多个预定位置移动，用来通过施加的力将一个或多个HARM结构沉积在模板中。 | ||
| 地址 | 芬兰艾斯博 | ||