| 摘要 |
本发明提供一种光照射式加热处理装置，系在使由该灯丝灯所放射的光经由光取出窗而照射在被处理体，并且经由形成在反射镜的开口而供给冷却风的构成中，无损及反射镜原本的功能，而且排除因光取出窗对于被处理体的温度分布造成的不良影响，因此，可将被处理体以所希望的温度分布进行加热处理。本发明之光照射式加热处理装置系具备有：由构成面状光源的复数支灯丝灯与反射镜所构成的灯单元；及冷却风供给机构，将来自灯丝灯的光经由光取出窗而照射在被处理体而进行加热处理的光照射式加热处理装置，其中，在反射镜系在其区域形成有用以使冷却风通过的开口，且以覆盖该开口的方式设置具有透气性的反射体。 |
