电感装置及其制造方法

摘要

一种在一半导体基板上所形成之电感装置包括：一电感本体，贯穿该半导体基板、采取一螺旋形状及具有一导电率；以及一绝缘膜，提供于该电感本体之侧面与该半导体基板间。