发明名称 上浮式装置及上浮式搬运装置
摘要 本发明,是揭示一种藉由流体用以使具有下表面之对象物上浮并进行搬运之上浮式搬运装置。上述上浮式搬运装置,具备有:上浮式装置、流体供给装置、以及搬运装置,上述上浮式装置,系具备有:基部,其系划分上述流体所通过的气室;及岛构件,其系以覆盖上述气室之方式所配置并能够位移,且具有外侧面以及平面状的上表面;及外廓构件,其系包围上述岛构件,并具有与上述岛构件的外侧面相对向的内侧面;及喷出孔,其系被配置为:藉由上述岛构件的外侧面与上述外廓构件的内侧面所划分,而在上述上表面与上述对象物的上述下表面之间,形成使上述流体产生均等压力的空间,且至少在上述上表面附近朝向上述区域的内侧倾斜,并与上述气室连通,用以喷出上述流体;以及复数个突起,其系夹介在上述喷出孔,藉由承受上述流体之压力的上述岛构件所按压而抵接于上述喷出孔的内侧面,用以使上述喷出孔的宽幅均等,上述流体供给装置,是用以给予上述流体压力并将上述流体供给至上述气室,上述搬运装置,是用以搬运上述对象物。
申请公布号 TW200914351 申请公布日期 2009.04.01
申请号 TW097121182 申请日期 2008.06.06
申请人 IHI股份有限公司 发明人 田中刈入
分类号 B65G51/03(2006.01);B65G49/06(2006.01);H01L21/677(2006.01) 主分类号 B65G51/03(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本