摘要 |
本发明之课题在于将工件载具形成为难以产生安装在工件保持孔内周的插入件的位置偏移或脱落等,而且难以产生工件进行研磨加工时的磨损的构成。本发明系在金属制的载具基板(13)设置开口(14),在该开口(14)的内周安装软质的插入件(15),将该插入件(15)的内侧形成为工件保持孔(12)的工件载具(10)中,在上述开口(14)之内周的至少一部分设置角沟形的扣止沟(22),并且在上述插入件(15)之外周的至少一部分形成角形剖面的扣止突条(23),在使该扣止突条(23)嵌合、扣止在上述扣止沟(22)内的状态下将上述插入件(15)固定在载具基板(13)之上述开口(14)的内周。 |