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发明名称 Silicon-containing film-forming composition, silicon-containing film, silicon-containing film-bearing substrate, and patterning method
摘要
申请公布号 EP1845132(B8) 申请公布日期 2009.04.01
申请号 EP20070251304 申请日期 2007.03.27
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 OGIHARA, TSUTOMU;UEDA, TAKAFUMI;IWABUCHI, MOTOAKI
分类号 C08L83/04;B32B9/04;C09D183/04;G03F7/09 主分类号 C08L83/04
代理机构 代理人
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