| 摘要 |
设置板厚方向之一面相对于板厚方向之另一面成角度θ之倾斜面之第1与第2的2个楔型玻璃717、727、及使楔型玻璃717、727之至少1个移动的移动手段，将楔型玻璃717之面717u配置成垂直于第2投影透镜67之光轴，并组合楔型玻璃727之面727u，使其与面717u之距离成为预定值δ，配置于第2投影透镜67之入射侧或出射侧，当第2投影透镜67之光轴方向之成像位置自曝光基板8之表面偏移时，藉由使楔型玻璃717移动于角度θ方向并保持距离δ为一定，以将第2投影透镜67之成像面定位于曝光基板8之表面。 |
