基板清洁装置以及其所属之基板清洁系统

摘要

一种供制造基板时所使用之基板清洁装置及使用此基板清洁装置之基板清洁系统。基板清洁装置包含连接件以及磁吸清洁件。连接件有贯穿孔以及与贯穿孔相连之开口，磁吸清洁件由贯穿孔穿设于连接件，且磁吸清洁件之部分暴露于连接件的开口。基板清洁系统包含基板清洁装置以及基板承载装置。基板承载装置其上承载玻璃基板。基板清洁装置位于基板承载装置上方，且基板清洁装置之开口朝下面对基板承载装置，如此，暴露于开口之磁吸清洁件之部分可面对基板承载装置上所承载之玻璃基板，而对其上之金属粒子进行吸附。