发明名称 |
配线基板的制造方法 |
摘要 |
提供一种配线基板的制造方法,能够实现提高显影工序中的成品率,并且能够切实地形成形状优良的微细配线图案层。在本发明的配线基板K的制造方法中,首先在树脂绝缘层(16、17)的表面形成金属层(20、21)。接着,在金属层(20、21)上粘贴具有耐碱性的感光性干膜材料(22、23)后,进行曝光及基于碱的显影,形成预定图案的抗电镀剂(22a、22b)。接着,进行电镀而在抗电镀剂(22a、22b)的开口部(24、25)形成配线图案层(28、29)。接着,利用有机胺类剥离液来剥离抗电镀剂(22a、22b)。接着,去除位于抗电镀剂(22a、22b)正下方的金属层(20、21)。 |
申请公布号 |
CN101400220A |
申请公布日期 |
2009.04.01 |
申请号 |
CN200810166281.2 |
申请日期 |
2008.09.25 |
申请人 |
日本特殊陶业株式会社 |
发明人 |
西村洋子;齐木一;杉本笃彦;樱井干也;井场政宏 |
分类号 |
H05K3/46(2006.01)I;H05K3/38(2006.01)I;H05K3/18(2006.01)I |
主分类号 |
H05K3/46(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
陆锦华;关兆辉 |
主权项 |
1. 一种配线基板的制造方法,其特征在于,包括以下工序:在树脂绝缘层(16、17、30、31)的表面形成金属层(20、21);在所述金属层(20、21)上粘贴具有耐碱性的感光性干膜材料(22、23)后,进行曝光及基于碱的显影,形成预定图案的抗电镀剂(22a、22b、23a、23b);进行电镀而在所述抗电镀剂(22a、22b、23a、23b)的开口部(24、24a、25、25b)形成配线图案层(28、28a、29、29a);利用有机胺类剥离液来剥离所述抗电镀剂(22a、22b、23a、23b);和去除位于所述抗电镀剂(22a、22b、23a、23b)正下方的所述金属层(20、21)。 |
地址 |
日本爱知县名古屋市 |