光学装置的制造方法

摘要

在制造具有多个光调制装置及色合成光学系统的光学装置时，取得投影光学系统的光学特性，取得光调制装置的基准位置，基于预先取得的光学特性而算出光调制装置的偏差量，一边检测来自于色合成光学系统的合成光一边根据偏差量进行光调制装置的位置调整。

主权项

1. 一种光学装置的制造方法，制造备有多个光调制装置与一个色合成光学系统的光学装置，所述多个光调制装置根据图像信息而按照各色光来调制多个所述色光，所述色合成光学系统具有被所述各光调制装置调制后的所述各色光入射的多个光入射端面以及对入射到所述各光入射端面的色光进行合成并射出的光射出端面，其特征在于：包括：光学特性取得步骤，取得与所述光学装置所组合的投影光学系统的光学特性；偏差量算出步骤，基于取得的所述投影光学系统的光学特性，算出所述光调制装置相对于基准位置的偏差量；合成光检测步骤，使用光束检测装置对从所述光射出端面射出的合成光进行检测；光调制装置位置调整步骤，在一边用该合成光检测步骤检测合成光一边进行了所述光调制装置的位置调整之后，基于所述偏差量，使所述光调制装置沿所述投影光学系统的光轴方向仅移动规定量；将该位置调整后的所述各光调制装置固定在所述色合成光学系统的多个光入射端面上的步骤。