具有电流限制孔的电流垂直平面自旋阀传感器

摘要

本发明涉及一种电流垂直平面自旋阀(CPP-SV)磁致电阻传感器，具有带至少一孔的绝缘层，所述孔限制通过有源区的检测电流的流动。所述孔位于离传感器的检测边缘比后边缘更近。所述孔通过电子束光刻法构图，其可以精确控制所述孔的数目、尺寸和位置。绝缘层可以位于导电非磁间隔层中，也可以位于自旋阀的磁有源层之外。在叠层中可以包括超过一个的绝缘层，从而在绝缘层的孔重合处定义传导电流的路径。所述孔中填充导电材料，一般是与用于间隔层相同的材料。

主权项

1. 一种磁致电阻传感器，当检测电流垂直于传感器中层的平面施加时，所述磁致电阻传感器能够检测外部磁场，所述传感器包括：基底；在所述基底上的层的叠层，所述叠层具有第一边缘和第二边缘，所述第一边缘位于要检测的磁场附近，所述第二边缘比所述第一边缘距离要检测的所述磁场更远，所述叠层包括被钉扎铁磁层，具有取向为基本与所述第一边缘正交的面内磁化方向；自由铁磁层，不存在外部磁场时具有取向为与所述被钉扎层的所述磁化方向基本正交的面内磁化方向，存在外部磁场时所述面内磁化方向基本自由转动；导电非磁间隔层，位于所述自由铁磁层和所述被钉扎层之间；以及电绝缘层，其中所述电绝缘层包括第一和第二绝缘层，所述第一和第二绝缘层的每个中的至少一个孔具有基本矩形形状，并且其中所述第一绝缘层中的所述至少一个孔的长度方向与所述第二绝缘层中的所述至少一个孔的长度方向不平行，其中所述至少一个孔的每个的超过一半的区域定位为距离所述第一边缘比距离所述第二边缘更近。