溅镀靶材之抛光制程

摘要

本件发明专利说明书揭示一种抛光废溅镀靶材之制程。该制程包括施加足够的热及轴向力至填满的溅镀靶材之步骤，以热压迫该填满的溅镀靶材，使粉末状金属与未溅镀金属熔合，制造出一抛光靶材。该制程可用于抛光贵金属靶材，例如钌靶材。