定位校准装置及定位校准系统

摘要

本发明公开了一种定位校准装置及应用该定位校准装置的定位校准系统，定位校准装置包括基座，基座上设有外定位装置和内定位装置，可同时分别对一块晶片进行定位校准。外定位装置包括外回转盘，外回转盘上固定有多个夹持臂，每个夹持臂上分别设有夹持块，可以定位并夹紧晶片。内定位装置包括内回转盘，内回转盘上设有真空孔，可以通过真空将晶片吸附到内回转盘的表面。定位校准系统包括与定位校准装置配合使用的机械手，可以同时取两块晶片放于定位校准装置的外定位装置和内定位装置相应的位置上；且可以将外定位装置和内定位装置上的晶片同时取出。结构紧凑、使用方便、效率高，适用于对片状物体进行定位校准，尤其适用于对晶片进行定位校准。

主权项

1、一种定位校准装置，包括基座，基座上设有定位装置和传感器，其特征在于，所述的定位装置包括外定位装置和内定位装置，所述的外定位装置和内定位装置可同时分别对一块晶片进行定位；所述的传感器可以分别对每一块晶片进行检测校准；所述的外定位装置和内定位装置同轴，分上下两层布置，可分别夹持一块晶片绕轴线旋转，实现对晶片的定位；所述的传感器包括上传感器和下传感器，上传感器可以对外定位装置夹持的上层晶片单独进行检测校准，下传感器可以对内定位装置夹持的下层晶片单独进行检测校准。