发明名称 肖特基势垒二极管结构
摘要 本发明公开了一种肖特基势垒二极管结构,以金属和N阱形成的肖特基结为正极,肖特基结通过接触孔与金属正极板相连;以N型半导体为负极,在肖特基结上设置多个彼此分离的P+区域,任意两个P+区域之间的间距满足如下条件:在反向偏压时,P+/N阱结耗尽区彼此相连。本发明与传统结构相比,正向压降低,反向击穿电压和泄漏电流都由PN结二极管决定,软击穿特性和高的反向泄漏电流都有很好的改善。
申请公布号 CN100474632C 申请公布日期 2009.04.01
申请号 CN200610030635.1 申请日期 2006.08.31
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 武洁;李平梁;徐向明
分类号 H01L29/872(2006.01)I 主分类号 H01L29/872(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 顾继光
主权项 1、一种肖特基势垒二极管结构,以金属和N阱形成的肖特基结为正极,肖特基结通过接触孔与金属极板相连;以N型半导体为负极,其特征是,在肖特基结上设置多个彼此分离的P+区域,任意两个P+区域之间的间距满足如下条件:在反向偏压时,P+/N阱结耗尽区彼此相连,所述P+区域边缘形状与所述肖特基结边缘形状为儿何意义上的相似形。
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