光阻组合物,申请号TW097125765-传众专利搜索

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发明名称	光阻组合物
摘要	本发明揭示光阻组合物。
申请公布号	TW200914996	申请公布日期	2009.04.01
申请号	TW097125765	申请日期	2008.07.08
申请人	ＡＺ电子材料美国股份有限公司	发明人	斯林伐珊　嘉克拉伐尼;穆尼拉席那　佩德曼那班;穆西亚　希亚哥拉贞;工藤隆范;大卫Ｌ　蓝齐威兹
分类号	G03F7/027(2006.01);G03F7/004(2006.01);C08F20/10(2006.01);C08F20/28(2006.01);H01L21/027(2006.01)	主分类号	G03F7/027(2006.01)
代理机构		代理人	陈长文
主权项
地址	美国

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