发光装置

摘要

提供以大量生产的方式制造包括具有优异电特性之可靠性高的薄膜电晶体的发光装置的方法。在具有反交错型薄膜电晶体的发光装置中，反交错型薄膜电晶体系形成如下：在闸极电极上形成闸极绝缘膜，在闸极绝缘膜上形成用作通道形成区域的微晶半导体膜，在微晶半导体膜上形成缓冲层，在缓冲层上形成一对源极区域及汲极区域，并且以使源极区域及汲极区域的一部分露出的方式而形成与源极区域及汲极区域接触的一对源极电极及汲极电极。