发明名称 分光模组
摘要 本发明之分光模组1由于本体部2为板状,故可藉由本体部2之薄型化而谋求小型化。而且,由于本体部2为板状,故例如可利用晶圆制程来制造分光模组1。亦即,对于作为多数之本体部2之玻璃晶圆,系可藉由将透镜部3、绕射层4、反射层6及光检测元件7设置成矩阵状,并切割该玻璃晶圆而制造多数分光模组1。如此,可容易地大量生产分光模组1。
申请公布号 TW200914805 申请公布日期 2009.04.01
申请号 TW097121291 申请日期 2008.06.06
申请人 滨松赫德尼古斯股份有限公司 发明人 柴山胜己;海慕特 特基曼;能野隆文;铃木智史;戴特玛 席勒;欧里其 史塔克
分类号 G01J3/02(2006.01) 主分类号 G01J3/02(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本
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