自适应调焦调平传感器系统中自动增益环节的闭环反馈控制方法

摘要

本发明公开了一种自适应调焦调平传感器系统及应用方法，其特征在于光斑掩模还具有形成位于曝光狭缝之外的预测光斑的通光孔，利用所成的曝光狭缝外的预测光斑使本发明的自适应调焦调平系统实现对工艺的自适应，对其本身测量点测量数据的可信度进行自我判断，对光强或增益环节进行反馈控制。本发明的有益效果是大大提高了调焦调平系统的可用性及生产效率和成品率，减少了工艺实验的工作量，节约了使用成本，提高了调焦调平的测量性能和工件台的工作性能，并最终也提高了整个光刻机的工作性能，降低了其使用成本和使用难度。

主权项

1. 一种自适应调焦调平传感器系统中自动增益环节的闭环反馈控制方法，其特征在于包括以下步骤：(1)利用预测光斑测量在曝光过程中所使用的测量对象在位置Xi处对光探针的反射率信息；(2)利用预测光斑测量所得的测量对象对光探针的反射率信息计算从探测器直接输出的原始信号C；(3)利用原始信号C计算自动增益因子G；(4)当测量光斑到达位置Xi处时利用自动增益因子对光源模块输出的光强或信号处理电路中的自动增益环节进行反馈控制，同时预测光斑在位置Xi+1处开始步骤(1)至(3)，在测量光斑到达位置Xi+1前并行得出位置Xi+1处的自动增益因子。