化学机械研磨方法

摘要

提供一种形状记忆化学机械研磨方法，该方法使用具有处在致密状态中的研磨层的形状记忆化学机械研磨垫，其中，监控该研磨垫厚度及/或沟槽深度且选择性外露该研磨层于活化刺激而导致从该致密状态转变至回复状态。