发明名称 一种光感测器及其制造方法
摘要 一种制造光感测器之方法,此种制程方式仅利用一次微影制程,形成二极体结构。且此方式系将源/汲极直接形成于闸极介电层上,以免除知之插栓结构,并于源/汲极之一者上形成二极体堆叠,让光感测器结构更为简化。
申请公布号 TW200915582 申请公布日期 2009.04.01
申请号 TW096136417 申请日期 2007.09.28
申请人 元太科技工业股份有限公司 发明人 蓝纬洲;王裕霖;陈礼廷
分类号 H01L31/0248(2006.01) 主分类号 H01L31/0248(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 新竹市科学工业园区力行一路3号