发明名称 | 一种光感测器及其制造方法 | ||
摘要 | 一种制造光感测器之方法,此种制程方式仅利用一次微影制程,形成二极体结构。且此方式系将源/汲极直接形成于闸极介电层上,以免除知之插栓结构,并于源/汲极之一者上形成二极体堆叠,让光感测器结构更为简化。 | ||
申请公布号 | TW200915582 | 申请公布日期 | 2009.04.01 |
申请号 | TW096136417 | 申请日期 | 2007.09.28 |
申请人 | 元太科技工业股份有限公司 | 发明人 | 蓝纬洲;王裕霖;陈礼廷 |
分类号 | H01L31/0248(2006.01) | 主分类号 | H01L31/0248(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 蔡坤财;李世章 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市科学工业园区力行一路3号 |