| 摘要 |
一种高温比面积电阻量测装置，系根据四点探针量测原理，并利用陶瓷耐热与可加工特性，设计一可耐高温夹具之陶瓷元件装置，在高温下提供固定一待测样品两端之夹持力道，以量测该待测样品之比面积电阻(Area Specific Resistance,ASR)，同时并可以陶瓷之绝缘性保持其两端白金网电压电流绝缘，以避免该白金网发生短路问题，且在高温下更可由一绝缘垫片隔离该待测样品与白金网之接触，因此，本发明之陶瓷元件装置系可在高温下(600℃～1200℃)，利用多组之陶瓷元件装置可一次在同一环境下，同时进行多组比面积电阻量测，使量测环境变因一致化，以达到高温下精确之量测。 |
