在射频偏压阻抗匹配基座电极下侦测晶圆层电弧之设备

摘要

本发明提供一种电浆反应器中之晶圆级电弧侦测方法，该方法使用一耦接至槛值比较器之RF瞬时感测器及一用以回应该槛值比较器之系统控制器，来实现电弧之侦测。