| 摘要 |
本发明之电浆处理装置之乾洗方法，系一种包括下列之电浆处理装置之乾洗方法：具有介电体构件之真空容器；设置于前述介电体构件外侧的平面状电极及高频天线；藉由对该等高频天线及平面状电极分别供给高频电力，经由前述介电体构件向前述真空容器内导入高频电力以产生电感耦合电浆之高频电源，该乾洗方法包括：在向前述真空容器内导入含有氟之气体，并藉由前述高频电源向前述真空容器内导入高频电力以使能述含有氟之气体产生电感耦合电浆之步骤；及藉由该电感耦合电浆，除去附着于前述介电体构件之含有贵金属及强介电体之至少一者的生成物之步骤。 |
