一种探针、测试插座及其测试机

摘要

本发明揭露一种探针，系装设于一测试插座及一测试机，以进行积体电路元件之高频测试。其中，探针为一导电体，探针之一端用以接触一待测之积体电路元件，另一端用以接触一负载基板。探针在第一平面上延伸形成一本体部位，其中，探针在第一方向之惯性矩大于第一平面上任何方向之惯性矩，而第一方向为第一平面的法线方向。本体部位从邻近形心位置横向延伸至少一第一弹性部位，该本体部位的弹性系数大于该第一弹性部位的弹性系数，使相同受力状态时该本体部位的弹性变形量小于该第一弹性部位的弹性变形量。