装置制造装置及装置制造方法

摘要

使密封构件21上昇而使密封构件21之缘部21a抵接于支撑构件13之抵接面17a，隔离精密吐出喷嘴5之状态，驱动排气装置41，实施使腔室1内成为既定压力为止之减压排气。其次，介由气体导入部26，从冲洗气体供给源31将冲洗气体导入腔室1内，以冲洗气体置换腔室1内环境气体，且使腔室1内之压力恢复大气压后，使密封构件21下降，解决精密吐出喷嘴5之隔离。其次，使卡匣7一边于X方向往返移动，一边朝基板S表面吐出液体装置材料之液滴。