对准标记形成装置

摘要

本发明提供一种对准标记形成装置，其结构简单，在不使用贯穿孔的情况下能够进行在基板的两面上形成的图案的定位。对准标记形成装置(10)具有用于装载基板的工作台(11)、用于定位装载于该工作台(11)上的基板的3个定位销(21)、3个对准标记形成部(51)、倾斜板(12)。对准标记形成部(51)具有一对曝光部，所述一对曝光部分别配设在装载于工作台(11)上的基板的表面侧和背面侧且在同轴上。该一对曝光部通过在基板的非有效区域照射UV光而形成对准标记。

主权项

1. 一种对准标记形成装置，用于形成定位用对准标记，该定位用对准标记是在基板的两面上形成的图案的定位用对准标记，其特征在于，具有：工作台，其用于装载基板；定位构件，其用于将所述工作台上所装载的基板定位；多个对准标记形成部，其分别在装载于所述工作台上的基板的非有效区域中的该基板的表面侧和背面侧且在同轴上形成对准标记。