电浆处理装置及电浆处理装置的使用方法

摘要

本发明的课题是在于制止导体表面波的传播。其解决手段是电浆处理装置（10）具有：藉由金属所形成的处理容器（100）、及输出微波的微波源（900）、及面向处理容器（100）的内壁，使从微波源（900）输出的微波透过至处理容器内的介电体板（305）、及具有作为设于处理容器的内面之传播障碍部的机能之沟（300a）。在供给低频率的微波时，藉由沟（300a）来制止导体表面波的传播。